真空鍍膜加工的基本技能要求
1、設備中的真空管道、靜態密封零部件（法蘭、密封圈等）的結構形式，應契合GB/T6070的規則。

2、在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應設備真空丈量規管，分別丈量各部位的真空度。當發現電場對丈量造成攪擾時，應在丈量口處設備電場屏蔽設備。

3、假如設備運用的主泵為分散泵時，應在泵的進氣口一側裝設有油蒸捕集阱

4、設備的鍍膜室應設有觀察窗，應設有擋板設備。觀察窗應能觀察到堆積源的作業情況以及其他關鍵部位。

5、離子鍍堆積源的規劃應盡可能提高鍍膜過程中的離化率，提高鍍膜資料的利用率，合理匹配堆積源的功率，合理布置堆積源在真空室體的位置。

6、合理布置加熱設備，一般加熱器結構布局應使被鍍工件溫升均勻一致。

7、工件架應與真空室體絕緣，工件架的規劃應使工件膜層均勻。

8、離子鍍膜設備一般應具有工件負偏壓和離子轟擊電源，離子轟擊電源應具有抑制非正常放電設備，維持作業穩定。

9、真空室接不同電位的各部分間的絕緣電阻值的巨細，均按GB/T11164-1999中的4.4.6

10、其他注意事項

1）環境溫度：10-30oC

2）相對濕度：不大于75%

3）冷卻水進水溫度：不高于25oC

4）冷卻水質：城市自來水或相當質量的水。

5）供電電源：380V三相50Hz或220V單相50Hz(由所用電器需求而定)；電壓波動范圍：342-399V或198-231V；頻率波動范圍：49-51Hz。

6）設備所需的壓縮空氣，液氮，冷水、熱水等的壓力、溫度，消耗量等，均應在產品運用說明書中寫明。

7）設備周圍環境整齊，空氣清潔，不應有引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵埃或氣體存在。