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真空鍍膜加工是相對于上述濕法鍍膜而發展起來的一種新型鍍膜技術，通常真空鍍膜加工稱為干法鍍膜技術。真空鍍膜技能的存在保障了集成電路的高度集成、功能、可靠性、生產效率等。 利用世界上先進的磁控濺射離子鍍膜和多弧離子鍍膜工藝設備，并以國際專家為基礎進行工藝創新。
在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，樣品蒸發后的儲存、制備和測試是在手套箱中的高純度惰性氣體氣氛中進行的。真空鍍膜的應用，簡單理解就是在真空環境下，采用蒸發、濺射及后續冷凝的方法，在金屬、玻璃、陶瓷、半導體及塑料件等物體上涂覆金屬膜或涂層。
